|
|
|
|
|
¡ã ¼±¤¼® ±³¼ö |
|
|
±¹³» ¿¬±¸ÁøÀÌ Å©±â´Â ÀÛ°í ¼º´ÉÀº ´õ¿í ¿ì¼öÇÑ ³ª³ëÆ®·£Áö½ºÅÍ °³¹ß¿¡ ¼º°øÇÔÀ¸·Î½á, ÀϺ» ÈÄÁöÂê°¡ ÁÖµµÇØ ¿Â ³ª³ëÆ®·£Áö½ºÅÍ ½ÃÀå¿¡¼ ¿ìÀ§¸¦ È®º¸ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °è±â°¡ µÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
°úÇбâ¼úºÎ´Â ‘Å׶ó±Þ³ª³ë¼ÒÀÚ°³¹ß»ç¾÷´Ü’(´ÜÀå ÀÌÁ¶¿ø)ÀÇ Áö¿øÀ» ¹Þ¾Æ ¼¿ï´ëÇб³ ¼±¤¼® ±³¼öÆÀÀÌ ³ª³ë¼ÒÀÚƯÈÆÕ¼¾ÅÍ(´ëÇ¥ÀÌ»ç °íö±â)¿ÍÀÇ °øµ¿¿¬±¸¸¦ ÅëÇØ ¼¼°è¿¡¼ °¡Àå ºü¸¥ 15nm, 610GHz±Þ °¥·ýºñ¼Ò°è ³ª³ëÆ®·£Áö½ºÅÍ(metamorphic HEMT:mHEMT)” °³¹ß¿¡ ¼º°øÇÏ¿´´Ù°í ¹àÇû´Ù.
ÀÌ ±â¼úÀº ³ª³ë HEMT ¼ÒÀÚÀÇ °ÔÀÌÆ® ±æÀ̸¦ 15nm±îÁö ÁÙÀÌ°í Æ®·£Áö½ºÅÍÀÇ µ¿ÀÛ¼Óµµ¸¦ °áÁ¤Áþ´Â Àü·ùÀ̵æ Â÷´ÜÁÖÆļö(fT)¸¦ 610GHz±îÁö ²ø¾î¿Ã·Á Àü°èÈ¿°ú Æ®·£Áö½ºÅÍ(FET) Áß¿¡¼ ¼¼°è¿¡¼ °¡Àå ºü¸¥ ¼Óµµ¸¦ º¸¿©, ÀϺ» ÈÄÁöÂê°¡ º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ´ø Á¾ÀüÀÇ 25nm ¹× 562GHz ¼¼°è ÃÖ°í±â·ÏÀ» ¶Ù¾î³Ñ´Â ³ª³ë¼ÒÀÚ ºÐ¾ß ÇÙ½É ±â¼ú·Î ±â´ë¸¦ ¸ðÀ¸°í ÀÖ´Ù.
À̵¿․À§¼ºÅë½Å, ÀÚµ¿Â÷¿ë Ãæµ¹¹æÁöÀåÄ¡ ¹× ¸ð¹ÙÀÏ ¼¾¼ µîÀÇ ¸¶ÀÌÅ©·ÎÆÄ/¹Ð¸®¹ÌÅÍÆÄ ½Ã½ºÅÛ°ú ÃÊ°í¼Ó ±¤Åë½Å ½Ã½ºÅÛÀÇ ÇÙ½É ºÎÇ°À¸·Î ³Î¸® »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Â ÈÇÕ¹° ¹ÝµµÃ¼´Â ±âÁ¸ÀÇ ½Ç¸®ÄÜ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚº¸´Ù ½ºÀ§Äª ¼Óµµ°¡ 10¹è ÀÌ»ó ºü¸£¸é¼ ¼ÒºñÀü·ÂÀÌ 10¹è Á¤µµ ³·¾Æ ÇöÀç Intel ¹× IBM µî¿¡¼´Â 2015³â°æ ½Ç¸®ÄÜ CMOS ÀÌÈÄÀÇ Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ ÀüÀÚ¼ÒÀÚ·Î Àû¿ëÇϱâ À§ÇØ È°¹ßÇÑ ¿¬±¸¸¦ ÁøÇàÇÏ°í ÀÖ´Ù.
±×·¯³ª ÈÇÕ¹° ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚÀÎ HEMT´Â Á¦ÀÛ ½Ã¿¡ ÀüÀÚ¼± °¨±¤¸·ÀÇ µÎ²²¸¦ µÎ²®°Ô ÇؾßÇϱ⠶§¹®¿¡ °í¼º´ÉÀÇ ÀüÀÚ¼± ¹¦È Àåºñ·Îµµ ¹Ì¼¼ÇÑ °ÔÀÌÆ® Àü±ØÀ» ±¸ÇöÇϱⰡ ¾î·Æ°í, ±âÁ¸ÀÇ Áø°ø ÁõÂø ¹æ½ÄÀ¸·Î Àü±ØÀ» Çü¼ºÇÒ °æ¿ì °ÔÀÌÆ® Àü±ØÀÌ ²÷¾îÁö´Â µî Á¦ÀÛ°úÁ¤ÀÌ ¸Å¿ì ±î´Ù·Ó´Ù´Â ¹®Á¦Á¡À» °¡Áö°í ÀÖ¾ú´Ù.
¼±¤¼® ±³¼öÆÀÀº ‘°æ»ç½Ä°¢°øÁ¤(Sloped Etching Process)’À̶ó´Â »õ·Î¿î °øÁ¤±â¼úÀ» â¾ÈÇÏ¿© ³ª³ë¼ÒÀÚƯÈÆÕ¼¾ÅÍÀÇ ÀüÀÚ¼± ¹¦È Àåºñ¿Í ±â¼úÁøÀÇ µµ¿òÀ» ¹Þ¾Æ Ãʹ̼¼ °ÔÀÌÆ® Àü±ØÀ» ¾ÈÁ¤ÀûÀ¸·Î ±¸ÇöÇÏ¿´°í, Àü±ØÀÌ ½±°Ô ²÷¾îÁö´Â ¹®Á¦¸¦ µ¿½Ã¿¡ ÇØ°áÇß´Ù.
À̹ø¿¡ °³¹ßµÈ 15nm±Þ HEMT ¼ÒÀÚ´Â ±âÁ¸ÀÇ ÀεãÀÎ(InP) ±â¹ÝÀÇ ¼ÒÀÚº¸´Ù °¡°ÝÀÌ Àý¹Ý ÀÌÇÏ·Î Àú·ÅÇÏ°í Á¦Á¶ °øÁ¤ÀÌ ¿ëÀÌÇØ ´ë·® »ý»êÀÌ °¡´ÉÇÏ¿©, 2008³âµµ¿¡ 60¾ïºÒ·Î ¿¹»óµÇ´Â Àüü ³ª³ë ÈÇÕ¹° ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀåÀ» À̲ø¾î °¥ Çٽɱâ¼ú·Î ÀÚ¸®¸Å±èÇÒ ¼ö ÀÖÀ» °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
¶ÇÇÑ ±×µ¿¾È ÀϺ» ÈÄÁöÂê°¡ ÁÖµµÇØ ¿Â ³ª³ë HEMT ºÐ¾ß¿¡¼ ¿ìÀ§¸¦ Á¡ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÇ¾úÀ¸¸ç, ³ª³ë ¼ÒÀÚ Á¦ÀÛÀÇ ÇÙ½É ¿øõ ±â¼úÀ» È®º¸ÇÏ¿© ÇâÈÄ Â÷¼¼´ë ³ª³ë ¹ÝµµÃ¼ ºÐ¾ß¿¡¼ À¯¸®ÇÑ ÀÔÁö¸¦ È®º¸Çϴµ¥ Å« ±â¿©¸¦ ÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëµÈ´Ù.
±×µ¿¾È ¿¬±¸ÆÀÀº ³ª³ë ÈÇÕ¹° ¹ÝµµÃ¼ Á¦ÀÛ±â¼úÀ» °³¹ßÇÏ¿© ¼¼°è ÃÖ°í ±ÇÀ§ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ÇÐȸÀÎ ±¹Á¦ÀüÀÚ¼ÒÀÚȸÀÇ(IEDM)¿¡¼ 2003³â, 2004³â, 2005³â 3ȸ ¿¬¼Ó ¹ßÇ¥ÇÑ ¹Ù ÀÖÀ¸¸ç, À̹ø ¼º°úµµ ¿À´Â 12¿ù 11ÀÏ ¹Ì±¹ ¿ö½ÌÅÏ¿¡¼ ¿¸®´Â 2007 IEDM¿¡¼ ¹ßÇ¥ÇÒ ¿¹Á¤À̸ç, °ü·Ã ±¹³»Æ¯Çã°¡ 7°Ç Ãâ¿øµÇ°í, 3°ÇÀÌ µî·ÏµÇ¾ú´Ù.
³ª³ë¼ÒÀÚƯÈÆÕ¼¾ÅÍ ±â¼úºÎ¼¿¡¼´Â ¼¿ï´ëÇб³ ¼±¤¼® ±³¼öÆÀ ¹× Å׶ó±Þ³ª³ë¼ÒÀÚ°³¹ß»ç¾÷´Ü°ú °øµ¿À¸·Î 15nm±Þ ÈÇÕ¹°¹ÝµµÃ¼¸¦ È°¿ëÇÑ ÃÖ÷´Ü °øÁ¤±â¼úÀ» »ó¿ëÈÇÏ´Â ³ë·ÂÀ» °è¼ÓÇÒ °èȹÀ̶ó°í ¹àÇû´Ù. |